SOPRA GES5E 分光镜 Ellipsometer

GES5E 是为 R&D 应用的 SOPRA 核心仪器。 GES5E 集成先进和好的证明的 opto 机械设计被耦合对高性能电子、分光仪和频谱图和用户友好 WindowsTm 软件。 GES5E 是分光镜 ellipsometers 的 5 生成最近设计 SOPRA 开发的。

超出比 20 年经验在分光镜 Ellipsometry 技术, SOPRA 在此市场上今天今天广泛被认可作为一个头等球员。

结果 SOPRA 分光镜 Ellipsometers 当前使用作为为薄膜评定的 ReferenceTM 工具在 R&D 和行业。

GES5E 平台的唯一好处是高分辨率评定模式和快速评定模式在同一个平台可能共存。 这由映射评定的快速程序允许物质发展鉴定,而且工艺过程开发控制。

GES5E 光学平台允许从标准 Ellipsometry 概括的 Ellipsometry 审阅测光评定的 (在传输和反映中), Scatterometry,发光学评定的多种评定模式。 所有评定自动地做作为功能: 波长、入射角,极化状态和时间。 标准光谱范围是 230-900nm,并且可以被延伸在 DUV 和 NIR 地区通过选择足够的选项 (请参见 SE 选项)。

材料提前的描述特性在 GES5E 可能也由耦合环境舱、热化牌照、液体细胞和低温控制器负责操行。 在该域的最后发展是 EPA (大气 Ellipsometric 的孔隙率计) 选项允许薄膜的多孔性评定。

GES5E 和其许多选项在材料学准许今天包括最先进 R&D 应用。

GES5E 是用途广泛在运作在下列域的研究实验室和大学: 等等半导体、光学、光学电信、平板显示器、数据存储、稀薄的金属、化学、生物,有机应用

Last Update: 3. February 2012 16:17

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