SOPRA GES5E 分光鏡 Ellipsometer

GES5E 是為 R&D 應用的 SOPRA 核心儀器。 GES5E 集成先進和好的證明的 opto 機械設計被耦合對高性能電子、分光儀和頻譜圖和用戶友好 WindowsTm 軟件。 GES5E 是分光鏡 ellipsometers 的 5 生成最近設計 SOPRA 開發的。

超出比 20 年經驗在分光鏡 Ellipsometry 技術, SOPRA 在此市場上今天今天廣泛被認可作為一個頭等球員。

結果 SOPRA 分光鏡 Ellipsometers 當前使用作為為薄膜評定的 ReferenceTM 工具在 R&D 和行業。

GES5E 平臺的唯一好處是高分辨率評定模式和快速評定模式在同一個平臺可能共存。 這由映射評定的快速程序允許物質發展鑒定,而且工藝過程開發控制。

GES5E 光學平臺允許從標準 Ellipsometry 概括的 Ellipsometry 審閱測光評定的 (在傳輸和反映中), Scatterometry,發光學評定的多種評定模式。 所有評定自動地做作為功能: 波長、入射角,極化狀態和時間。 標準光譜範圍是 230-900nm,并且可以被延伸在 DUV 和 NIR 地區通過選擇足够的選項 (请請參見 SE 選項)。

材料提前的描述特性在 GES5E 可能也由耦合環境艙、熱化牌照、液體細胞和低溫控制器負責操行。 在該域的最後發展是 EPA (大氣 Ellipsometric 的孔隙率計) 選項允許薄膜的多孔性評定。

GES5E 和其許多選項在材料學准許今天包括最先進 R&D 應用。

GES5E 是用途廣泛在運作在下列域的研究實驗室和大學: 等等半導體、光學、光學電信、平板顯示器、數據存儲、稀薄的金屬、化學、生物,有機應用

Last Update: 3. February 2012 16:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment