SOPRA GES5E PUV Spektralanalytisches Ellipsometer

SOPRA produziert ein Spektralanalytisches Ellipsometer, das, um bis 135 nm unten zu arbeiten fähig ist. Der gesamte Spektralbereich ist 135-650 nm. Dieses aktivieren, alle neuen Materialien zu messen, die für die Lithographie der nächsten Generation bestimmt sind (157 nm, F.E.-Excimerlaser), wie Fotoresist, LICHTBOGEN-Schichten und alle Optik, die in der Stepper nächsten Generation umfaßt wird.

Basiert auf GES5E-Plattform, arbeitet das ellipsometer in eine gereinigte Handschuhschachtel, um die Sauerstoff- und Wasserverunreinigung im Teil pro Million Reichweiten zu verringern. Trockener Stickstoff wird kontinuierlich im Kasten mit automatischer Einstellung des surpressure eingespritzt. Ein Funktionsgesicht mit drei Handschuhen darf die Probe (bis 200 mm-Durchmesser) an der Beispielhalterung montieren. Die optische Installation umfaßt ein premonochromator in der Polarisatorwaffe, um Foto zu vermeiden widerstehen Bleiche.

Zusätzlich zu ellipsometry kann die Anlage photometrische Maße an örtlich festgelegtem Polarisationszustand machen (Reflexion und Beförderung). Scatterometric-Maße sind auch möglich.

Last Update: 3. February 2012 16:23

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