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SOPRA GES5E PUV Ellipsometer Espectroscópico

SOPRA produce un Ellipsometer Espectroscópico capaz para trabajar hacia abajo a 135 nanómetro. El rango espectral entero es 135-650 nanómetro. Esto activa medir todos los nuevos materiales diseñados para la litografía de la generación siguiente (157 nanómetro, laser del excímero del FE), como la fotoprotección, capas del ARCO y toda la óptica incluida en la generación siguiente De Pasos.

De Acuerdo con la plataforma de GES5E, el ellipsometer trabaja en una caja de guantes purgada para reducir la contaminación del oxígeno y del agua en la parte por millón de rangos. El Nitrógeno Seco se inyecta contínuo en el rectángulo con el ajuste automático del surpressure. Un frente de arranque con tres guantes permite el montar de la muestra (diámetro de hasta 200 milímetros) en el casquillo de la muestra. El ajuste óptico incluye un premonochromator en la arma del polarizador para evitar la foto resiste el blanqueo.

Además de ellipsometry, el sistema puede hacer mediciones fotométricas en el estado de polarización fijo (reflexión y transmitencia). Las mediciones de Scatterometric son también posibles.

Last Update: 3. February 2012 16:35

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