SOPRA GES5E PUV Ellipsometer Spectroscopique

Le SOPRA produit un Ellipsometer Spectroscopique capable pour fonctionner vers le bas à 135 nanomètre. Le domaine spectral entier est 135-650 nanomètre. Ceci activent pour mesurer tous les matériaux neufs conçus pour la lithographie de prochain rétablissement (157 nanomètre, laser d'excimère de Technicien), comme le vernis photosensible, les couches d'ARC et tout le bloc optique compris dans le prochain rétablissement De Pas.

Basé sur la plate-forme de GES5E, l'ellipsometer fonctionne dans une boîte à gants purgée pour réduire la contamination de l'oxygène et de l'eau dans la partie selon million de domaines. L'Azote Sec est injecté continuellement dans le cadre avec le réglage automatique du surpressure. Une taille en activité avec trois gants laisse monter l'échantillon (diamètre de jusqu'à 200 millimètres) sur le support témoin. L'installation optique comprend un premonochromator dans le bras de polariseur pour éviter la photo résistent au blanchiment.

En plus d'ellipsometry, le système peut effectuer des mesures photométriques à la condition de polarisation fixe (réflectivité et transmittance). Les mesures de Scatterometric sont également possibles.

Last Update: 3. February 2012 16:22

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