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SOPRA GES5E PUV Ellipsometer Spettroscopico

Il SOPRA produce un Ellipsometer Spettroscopico capace per lavorare giù a 135 nanometro. L'intera ampiezza dello spettro è 135-650 nanometro. Ciò permette a di misurare tutti i nuovi materiali progettati per la litografia della generazione seguente (157 nanometro, laser a eccimeri del Tecnico Di Assistenza), come photoresist, i livelli dell'ARCO e tutta l'ottica inclusa nella generazione seguente Passo Passo.

Sulla Base della piattaforma di GES5E, il ellipsometer funziona in una scatola per guanti purgata per diminuire la contaminazione dell'acqua e dell'ossigeno nella parte per milione intervalli. L'Azoto Asciutto è iniettato continuamente nella casella con adeguamento automatico del surpressure. Una sezione di scavo con tre guanti concede montare il campione (un diametro da fino a 200 millimetri) sul supporto del campione. L'impostazione ottica include un premonochromator nel braccio del polarizzatore per evitare la foto resiste all'imbianchimento.

Oltre a ellipsometry, il sistema può effettuare le misure fotometriche allo stato di polarizzazione fisso (riflessione e trasmissione). Le misure di Scatterometric sono egualmente possibili.

Last Update: 3. February 2012 16:25

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