SOPRA GES5E PUV 分光 Ellipsometer

SOPRA は 135 nm に働くために可能な分光 Ellipsometer を作り出します。 全体のスペクトル領域は 135-650 nm です。 これは光硬化性樹脂、アークの層および段階次世代に含まれているすべての光学のような次世代の石版印刷 (157 nm、 Fe のエキシマーレーザー) のために、設計されているすべての新しい材料を測定することを可能になります。

GES5E のプラットホームに基づいて、 ellipsometer は清浄にされたグローブボックスに百万の範囲ごとの部分の酸素および水汚染を減らすために働きます。 乾燥した窒素は surpressure の自動調節を用いるボックスで絶えず注入されます。 3 つの手袋が付いている 1 つの働き表面はサンプルホールダーにサンプル (200 までの mm の直径) を取付けることを割り当てます。 光学セットアップは偏光子アームに写真を避けるために premonochromator を抵抗します bleaching に含めます。

ellipsometry に加えて、システムは固定分極州で測光の測定をすることができます (反射率および伝送)。 Scatterometric の測定はまた可能です。

Last Update: 3. February 2012 16:26

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