SOPRA GES5E PUV Spectroscopische Ellipsometer

SOPRA produceert een Spectroscopische geschikt Ellipsometer om neer aan 135 NM te werken. De volledige spectrale waaier is 135-650 NM. Dit laat toe om alle nieuwe materialen te meten die voor de volgende generatielithografie worden ontworpen (157 NM, van Fe excimer laser), zoals photoresist, de lagen van het ARC en al optica inbegrepen in volgende generatieStepper.

Gebaseerd op platform GES5E, werkt ellipsometer in een gezuiverde handschoendoos om de zuurstof en waterverontreiniging in het deel per miljoen waaiers te verminderen. De Droge Stikstof wordt ingespoten onophoudelijk in de doos met automatische aanpassing van surpressure. Één werkend gezicht met drie handschoenen staat toe opzettend de steekproef (tot 200 mmdiameter) op de steekproefhouder. De optische opstelling omvat een premonochromator in het polarisatorwapen om foto te vermijden verzet zich tegen bleken.

Naast ellipsometry, kan het systeem photometric metingen bij vaste polarisatiestaat (reflectiecoëfficiënt en overbrenging) maken. De metingen van Scatterometric zijn ook mogelijk.

Last Update: 3. February 2012 16:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment