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SOPRA GES5E PUV Ellipsometer Espectroscópica

SOPRA produz um Ellipsometer Espectroscópica capaz para trabalhar para baixo a 135 nanômetro. A escala espectral inteira é 135-650 nanômetro. Isto permite de medir todos os materiais novos projetados para a litografia da próxima geração (157 nanômetro, de excimer do Fe laser), como fotoresistente, camadas do ARCO e todo o sistema ótico incluído na próxima geração Deslizante.

Baseado na plataforma de GES5E, o ellipsometer trabalha em uma caixa de luva removida para reduzir a contaminação do oxigênio e da água na parte por milhão escalas. O Nitrogênio Seco é injectado continuamente na caixa com ajuste automático do surpressure. Uma face de funcionamento com três luvas reserva montar a amostra (diâmetro de até 200 milímetros) no suporte da amostra. O óptico estabelecido inclui um premonochromator no braço do polarizador para evitar a foto resiste o descoramento.

Além do que ellipsometry, o sistema pode fazer medidas fotométricas em estado de polarização fixo (reflectância e transmitância). As medidas de Scatterometric são igualmente possíveis.

Last Update: 3. February 2012 16:32

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