Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

SOPRA GES5E PUV Спектроскопическое Ellipsometer

SOPRA производит Спектроскопическое Ellipsometer способное для того чтобы работать вниз до 135 nm. Весь спектральный ряд 135-650 nm. Это позволяет измерить все новые материалы конструированные для литографирования следующего поколени (157 nm, excimer Fe лазер), как фоторезист, слои ДУГИ и вся оптика включенная в следующем поколени Stepper.

Основано на платформе GES5E, ellipsometer работает в продутый бардачок для уменьшения загрязнения кислорода и воды в части в миллион рядов. Сухой Азот впрыснут непрерывно в коробке с автоматическим регулированием surpressure. Одна сторона деятельности с 3 перчатками позволяет установить образец (диаметр до 200 mm) на держателе образца. Оптически настроение включает premonochromator в рукоятке поляризатора для того чтобы во избежание фото для того чтобы сопротивлять bleaching.

В дополнение к ellipsometry, система может сделать фотометрические измерения на фикчированном положении поляризации (отражение и пропускаемость). Измерения Scatterometric также возможны.

Last Update: 3. February 2012 16:33

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment