SOPRA GES5E PUV Spectroscopic Ellipsometer

SOPRA producerar en kapabla Spectroscopic Ellipsometer för att fungera besegrar till 135 nm. Det hela spektral- spänner är 135-650 nm. Detta möjliggör för att mäta alla nya material som planläggs för nästa generationlithographyen (157 nm, Fe-excimerlaser), lik photoresist, BÅGlagrar och alla optik som är inklusive i den Gradvisa nästa generation.

Baserat på GES5E-plattformen, boxas ellipsometerarbetena in i en renad handske för att förminska syret, och att bevattna förorening i delen per miljon spänner. Torr Ett gasformigt grundämne injiceras fortlöpande i boxas med automatisk justering av surpressuren. Ett arbete vänder mot med tre handskar låter beslag ta prov (upp till diameter för en mm 200) på ta provhållaren. De optiska ställer in inkluderar en premonochromator i polarizeren beväpnar för att undvika fotoet motstår att bleka.

Förutom ellipsometry kan systemet göra photometric mätningar på fixad polarization statliga (reflexionen och transmittance). Scatterometric mätningar är också möjligheten.

Last Update: 3. February 2012 16:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment