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SOPRA GES5E PUV 分光镜 Ellipsometer

SOPRA 生产能够分光镜的 Ellipsometer 运作下来到 135 毫微米。 整个光谱范围是 135-650 毫微米。 这启用评定为下一代石版印刷设计的所有新的材料 (157 毫微米, Fe 激态原子激光),象光致抗蚀剂、弧层和在下一代包括的所有光学步进。

凭 GES5E 平台, ellipsometer 运作到一个被清除的手套盒减少在部分的氧气和水污秽每百万个范围。 干燥氮气在有 surpressure 的自动调整的配件箱不断地被注射。 与三副手套的一张工作面准许挂接这个范例 (200 mm 直径) 在范例持有人。 光学设置在偏振镜胳膊包括一 premonochromator 避免照片抵抗漂白的。

除 ellipsometry 之外,这个系统可能做测光评定在固定的极化状态 (反射率和透射率)。 Scatterometric 评定也是可能的。

Last Update: 3. February 2012 16:17

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