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SOPRA GES5E PUV 分光鏡 Ellipsometer

SOPRA 生產能够分光鏡的 Ellipsometer 運作下來到 135 毫微米。 整個光譜範圍是 135-650 毫微米。 這啟用評定為下一代石版印刷設計的所有新的材料 (157 毫微米, Fe 激態原子激光),像光致抗蝕劑、弧層和在下一代包括的所有光學步進。

憑 GES5E 平臺, ellipsometer 運作到一個被清除的手套盒減少在部分的氧氣和水汙穢每百萬個範圍。 乾燥氮氣在有 surpressure 的自動調整的配件箱不斷地被注射。 與三副手套的一張工作面准許掛接這個範例 (200 mm 直徑) 在範例持有人。 光學設置在偏振鏡胳膊包括一 premonochromator 避免照片抵抗漂白的。

除 ellipsometry 之外,這個系統可能做測光評定在固定的極化狀態 (反射率和透射率)。 Scatterometric 評定也是可能的。

Last Update: 3. February 2012 16:18

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