Infrarot Ellipsometer SOPRA IRSE5E

SOPRA hat einen Stand-alleinFourier-transformation Spektralanalytischen Bedeckungsinfrarotspektralbereich Ellipsometer (FTIR-SE) von 1.5µm bis µm 17 (550 cm-1) als Standard unter Verwendung sehr empfindlichen MCT-Detektors und bis 33µm unter Verwendung WahlweiseDTGS-Detektors und der speziellen Optik entwickelt.

Das Infrarot-ellipsometer kann ohne Kontakt und Referenzmuster mit atmopheric Druck messen und kann in den in-situanwendungen easely eingeführt werden

Unter anderen Anwendungen kann man ausdrucken: Halbleiter Epilayers (Stärke, Konzentration und Profil lackierend), Nichtleiter filmt Kennzeichnung (BPSG, SiON, SiOF,…), Überwachen der formlosen Silikon- und Silikon Nitridqualität (Inhalt [H]), DES ITO-Filmes optische und elektrische Kennzeichnung. Materielle Zusammensetzung, chemische bondings. Heimlichkeitsmaterialkennzeichnung ist auch aktiv unter Verwendung IRSE-Anlage erfolgt.

Zusätzlich zum ellipsometry IR, bietet GES IRSE die Möglichkeit an, um die Instrumente als StandardFourier-transformation Spektrometer zu verwenden und photometrische Maße wie Beförderung und Reflexion, gegen Winkel durchzuführen, Polarisation.

Last Update: 3. February 2012 16:23

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