Infrarrojo Ellipsometer de SOPRA IRSE5E

SOPRA ha desarrollado un Soporte que Fourier solo Transforma Ellipsometer Espectroscópico Infrarrojo (FTIR-SE) que reviste el rango espectral a partir de la 1.5µm al µm 17 (550 cm-1) como patrón usando detector altamente sensible de MCT y hasta los 33µm usando detector Opcional de DTGS y las ópticas especiales.

El ellipsometer Infrarrojo puede medir sin la muestra del contacto y de referencia en la presión atmopheric y se puede easely ejecutar en aplicaciones "in-situ"

Entre otras aplicaciones una puede enlistar: Los Epilayers del Semiconductor (espesor, dopando la Concentración y el perfil), Dieléctrico filman la caracterización (BPSG, SiON, SiOF,…), el vigilar de la calidad amorfa del silicio y del Nitruro de silicio (contenido [H]), caracterización óptica y eléctrica de la película de ITO. Composición Material, bondings químicos. La caracterización de materiales de la Cautela también se hace activamente usando sistema de IRSE.

Además del IR ellipsometry, GES IRSE ofrece la posibilidad para utilizar los instrumentos mientras que un Fourier estándar Transforma el espectrómetro y realiza mediciones fotométricas como transmitencia y la reflexión, comparado con ángulo, polarización.

Last Update: 3. February 2012 16:35

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