Infrarosso Ellipsometer di SOPRA IRSE5E

Il SOPRA ha sviluppato un'ampiezza dello spettro Spettroscopica Infrarossa della copertura di Ellipsometer di Trasformata di fourier sola del Supporto (FTIR-SE) da 1.5µm 17 a µm (550 cm-1) come standard facendo uso del rivelatore altamente sensibile di MCT e a 33µm facendo uso delle ottica Facoltative del rivelatore e dello speciale di DTGS.

Il ellipsometer Infrarosso può misurare senza campione di riferimento e del contatto a pressione atmopheric e può easely essere applicato nelle applicazioni in situ

Tra altre applicazioni una può quotare: I Epilayers A Semiconduttore (spessore, verniciando Concentrazione e profilo), Dielettrico filma la caratterizzazione (BPSG, SiON, SiOF,…), video della qualità amorfa del Nitruro di silicio e del silicio (contenuto [H]), caratterizzazione ottica ed elettrica della pellicola di ITO. Composizione Materiale, bondings chimici. La caratterizzazione di materiali di Azione Furtiva egualmente attivamente è fatta facendo uso del sistema di IRSE.

Oltre al IR ellipsometry, GES IRSE offre la possibilità per utilizzare gli strumenti come spettrometro standard di Trasformata di fourier e per realizzare le misure fotometriche come trasmissione e la riflessione, contro l'angolo, polarizzazione.

Last Update: 3. February 2012 16:25

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