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SOPRA IRSE5E の赤外線 Ellipsometer

SOPRA は任意選択 DTGS の探知器および特別な光学を使用してからの 17 µm (550 cm-1) と 33µm に機密性が高い MCT の探知器を使用して標準としてスペクトル領域を 1.5µm カバーする立場のフーリエ変換だけを赤外線分光 Ellipsometer (FTIR-SE) 開発しました。

赤外線 ellipsometer は atmopheric 圧力で接触および参照サンプルなしで測定、 in-situ アプリケーションで easely 実行することができます

他のアプリケーションの間で 1 つはリストできます: 半導体の Epilayers (厚さ、集中およびプロフィールを添加します)、誘電体は撮影します性格描写 (BPSG、 SiON、 SiOF、…) を、無定形のケイ素および窒化珪素の品質 ([H] 内容)、 ITO のフィルムのの監視光学および電気性格描写。 物質的な構成、化学 bondings。 隠しだて材料性格描写はまた IRSE システムを使用して実行中に行われます。

ellipsometry IR に加えて GES IRSE は器械を標準フーリエ変換の分光計として使用し、伝送そして反射率のような測光の測定を、角度対行うために可能性を分極提供します。

Last Update: 3. February 2012 16:26

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