SOPRA IRSE5E Infrarode Ellipsometer

SOPRA heeft een Transformatie Infrarode Spectroscopische Ellipsometer die van Fourier van de Tribune alleen (ftir-SE) spectrale waaier behandelen van 1.5µm tot 17 µm (550 cm-1) als norm gebruikend hoogst gevoelige detector MCT en aan 33µm gebruikend Facultatieve detector DTGS en speciale optica ontwikkeld.

Infrarode ellipsometer kan zonder contact en verwijzingssteekproef bij atmopheric druk meten en kan easely in toepassingen in situ worden uitgevoerd

Onder andere toepassingen kan men een lijst maken van: Epilayers van de Halfgeleider (dikte, smerend Concentratie en profiel), Diëlektrische filmskarakterisering (BPSG, SiON, SiOF,…), toezicht op amorfe silicium en van het siliciumNitride kwaliteit ([H] inhoud), ITO film optische en elektrokarakterisering. Materiële samenstelling, het chemische plakken. De de materialenkarakterisering wordt van de Heimelijkheid ook actief gedaan gebruikend systeem IRSE.

Naast ellipsometry IRL, biedt GES IRSE de mogelijkheid om de instrumenten te gebruiken als standaardspectrometer van de Transformatie van Fourier en photometric metingen zoals overbrenging en reflectiecoëfficiënt, tegenover hoek, polarisatie uit te voeren.

Last Update: 3. February 2012 16:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment