Infravermelho Ellipsometer de SOPRA IRSE5E

SOPRA desenvolveu um Suporte que Fourier sozinho Transforma Ellipsometer Espectroscópica Infravermelho (FTIR-SE) que cobre a escala espectral de 1.5µm ao µm 17 (550 cm-1) como o padrão usando o detector altamente sensível de MCT e ao detector Opcional de utilização de 33µm DTGS e ao sistema ótico especial.

O ellipsometer Infravermelho pode medir sem a amostra do contacto e de referência na pressão atmopheric e pode easely ser executado em aplicações in situ

Entre outras aplicações uma pode alistar: Os Epilayers do Semicondutor (espessura, lubrificando a Concentração e o perfil), Dielétrico filmam a caracterização (BPSG, SiON, SiOF,…), monitoração da qualidade amorfa do silicone e do Nitreto de silicone (índice [H]), do filme de ITO caracterização óptica e elétrica. Composição Material, bondings químicos. A caracterização de materiais do Discrição é feita igualmente activamente usando o sistema de IRSE.

Além do que o IR ellipsometry, GES IRSE oferece a possibilidade usar os instrumentos enquanto um Fourier padrão Transforma o espectrómetro e executa medidas fotométricas como o transmitância e a reflectância, contra o ângulo, polarização.

Last Update: 3. February 2012 16:32

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