SOPRA IRSE5E 红外线 Ellipsometer

SOPRA 开发了立场单独傅立叶变换报道从 1.5µm 的红外分光镜 Ellipsometer (FTIR-SE) 光谱范围到 17 µm (550 cm-1) 作为标准使用高灵敏的 MCT 探测器和到 33µm 使用选项 DTGS 探测器和特殊光学。

红外 ellipsometer 在原地应用评定,不用联络和参考样品以 atmopheric 压,并且可以 easely 被实施

在其他应用中一个可能列出: 半导体外延层 (厚度,掺杂浓度和配置文件),电介质摄制描述特性 (BPSG, SiON, SiOF,…) 监控无定形的硅和氮化硅质量 ([H] 目录), ITO 影片光学和电子描述特性。 物质构成,化工 bondings。 使用 IRSE 系统,秘密行动材料描述特性有效地也完成。

除 ellipsometry 的红外线之外, GES IRSE 提供这个可能性使用仪器作为一台标准傅立叶变换分光仪和进行象透射率和反射率的测光评定,与角度,极化。

Last Update: 3. February 2012 16:17

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