SOPRA IRSE5E 紅外線 Ellipsometer

SOPRA 開發了立場單獨傅立葉變換報道從 1.5µm 的紅外分光鏡 Ellipsometer (FTIR-SE) 光譜範圍到 17 µm (550 cm-1) 作為標準使用高靈敏的 MCT 探測器和到 33µm 使用選項 DTGS 探測器和特殊光學。

紅外 ellipsometer 在原地應用評定,不用聯絡和參考樣品以 atmopheric 壓,并且可以 easely 被實施

在其他應用中一个可能列出: 半導體外延層 (厚度,摻雜濃度和配置文件),電介質攝製描述特性 (BPSG, SiON, SiOF,…) 監控無定形的硅和氮化硅質量 ([H] 目錄), ITO 影片光學和電子描述特性。 物質構成,化工 bondings。 使用 IRSE 系統,秘密行動材料描述特性有效地也完成。

除 ellipsometry 的紅外線之外, GES IRSE 提供這個可能性使用儀器作為一臺標準傅立葉變換分光儀和進行像透射率和反射率的測光評定,與角度,極化。

Last Update: 3. February 2012 16:18

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