Sistemas de la Deposición de la Película Fina de la Serie de EvoVac del Angstrom

¡La evolución siguiente en tecnología de la deposición de la película fina del vacío está aquí! Los sistemas de la deposición de EvoVac se diseñan específicamente para cubrir las demandas de las aplicaciones de la investigación de la generación siguiente.

El diseño modular del EvoVac le permitirá configurar un sistema que tenga la adaptabilidad de cambiar junto con su investigación. La configuración baja de un EvoVac consiste en dos secciones principales, un 19" estándar cremallera eléctrica del mando y un bastidor para utilizar fuentes de la deposición, el compartimiento de alto vacío y la electrónica del PLC.

El diseño único del compartimiento de EvoVac activa la integración de la caja de guantes similar a nuestra Serie de Amod. Con una caja de guantes opcional un sistema de EvoVac se adapta perfectamente para las aplicaciones de la investigación del laboratorio de una escala más grande altamente sensibles a las condiciones atmosféricas.

Los sistemas de EvoVac son capaces de combinar fuentes múltiples de la deposición de la película fina, usando hasta diez fuentes térmicas de la evaporación, la evaporación del haz electrónico, o cuatro metas del chisporroteo del magnetrón.

Características de Sistema Estándar de la Serie de EvoVac

Los sistemas de la deposición de la película fina de EvoVac ofrecen un conjunto potente en un precio competitivo y se pueden expidir de nuestro recurso en tan poco tiempo como 16 semanas. Las combinaciones de la adaptabilidad Extensa y del componente modular hacen el EvoVac una solución perfecta para los ambientes únicos de la investigación o una instalación de sistema múltiple. La información siguiente detalla las características de sistema incluidas en cada sistema de la base de la serie de EvoVac.

  • Universal 26" x 19" Borde de la Base
  • Bastidor Eléctrico Separado del Recinto y de Módulo de la Base
  • Conjunto de Bombeo Criogénico Científico de Austin 1500 L/s
  • Monitor de Cryopump con la Lectura de Digitaces y Setpoints Doble
  • Bomba Mecánica de la Veleta Rotativa de 18 cfm con el Eliminador de Llovizna
  • Ordenador de Mando de la PC del Cremallera-Montaje 4U
  • Favorable Sistema Operativo de Microsoft Windows XP
  • SCADA Basados en Windows - Software del Interfaz de Mando del PLC con la Operación de Sistema de la Auto-Serie y del Modo Manual A Través de un Interfaz En Tiempo Real Esquemáticamente Basado
  • 17" Monitor LCD con el Teclado y el Ratón
  • Válvula Neumática del Mando del Vacío
  • el Calibrar de la Presión del Vacío de la gama completa
  • PLC de Omron y Módulos de Mando Electrónico
  • Campo Evaluado Para Hacer Frente a la Certificación de CSA SPE-1000

Last Update: 3. February 2012 20:54

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