オングストロームの EvoVac シリーズ薄膜の沈殿システム

真空の薄膜の沈殿技術の次の改革はここにあります! EvoVac の沈殿システムは次世代の研究アプリケーションの要求に応じるようにとりわけ設計されています。

EvoVac のモジューラ設計は研究と共に変更する柔軟性があるシステムを設定することを可能にします。 EvoVac の基礎構成は 2 つの主要なセクション、標準 19" 電気制御ラックおよびフレーム沈殿ソースをサポートするために高真空区域および PLC の電子工学から成っています。

EvoVac 区域の一義的なデザインは Amod 私達のシリーズと同じようなグローブボックスの統合を可能にします。 任意選択グローブボックスによって EvoVac システムは大気条件に機密性が高い大規模の実験室の研究アプリケーションに完全に適します。

EvoVac システムは多重薄膜の沈殿ソースを、 10 までの熱蒸発ソース結合することができま、電子ビームの蒸発、または 4 つのマグネトロンの放出させるターゲットを使用します。

EvoVac シリーズ標準的なシステム特徴

EvoVac の薄膜の沈殿システムは競争価格で強力なパッケージを提供し、私達の機能から 16 週程度で出荷することができます。 広範な柔軟性およびモジュラコンポーネントの組合せは EvoVac に一義的な研究の環境または複数システムのインストールのための完全な解決をします。 次の情報はあらゆる EvoVac シリーズベースシステムに含まれているシステム特徴を詳しく述べます。

  • 自在継手 26" x 19" ベースフランジ
  • 別の電気機構およびベースモジュールフレーム
  • オースティン科学的な 1500 L/s の低温学ポンプパッケージ
  • 数値表示装置および二重 Setpoints の Cryopump のモニタ
  • 霧エリミネーターが付いている 18 の cfm の回転式ベーンの機械ポンプ
  • 4U ラックマウント式のパソコンの制御計算機
  • Microsoft Windows XP のプロオペレーティングシステム
  • Windows ベースの SCADA - 図式的に基づいたリアルタイムインターフェイスを通した自動シーケンス及び手動モードのシステム操作を用いる PLC の制御インタフェースのソフトウェア
  • 17" キーボードおよびマウスが付いている LCD のモニタ
  • 空気の真空制御 Valving
  • フルレンジの真空圧力測定
  • Omron の PLC および電子制御モジュール
  • CSA SPE-1000 の証明に会うために評価されるフィールド

Last Update: 3. February 2012 20:52

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