De Systemen van het Deposito van de Dunne Film van de Reeks van EvoVac van het Ångström

De volgende evolutie in de vacuümtechnologie van het dunne filmdeposito is hier! De het depositosystemen worden van EvoVac ontworpen specifiek om de eisen van de toepassingen van het volgende generatieonderzoek te ontmoeten.

Het modulaire ontwerp van EvoVac zal u toelaten om een systeem te vormen dat de flexibiliteit om samen met uw onderzoek heeft te veranderen. De basisconfiguratie van een EvoVac bestaat uit twee belangrijke secties, standaard 19“ elektrocontrolerek en een frame om depositobronnen te steunen, de hoge luchtledige kamer en de PLC elektronika.

Het unieke ontwerp van de kamer EvoVac laat de integratie van de handschoendoos gelijkend op onze Reeks Amod toe. Met een facultatieve handschoendoos is een systeem EvoVac volkomen geschikt voor het onderzoektoepassingen van het grotere schaallaboratorium hoogst gevoelig voor atmosferische voorwaarden.

De systemen van EvoVac kunnen de veelvoudige bronnen van het dunne filmdeposito combineren, die tot tien thermische verdampingsbronnen, elektronenstraalverdamping, of vier magnetron sputterende doelstellingen gebruiken.

Eigenschappen van het Systeem van de Reeks van EvoVac de Standaard

Bieden de systemen van het de dunne filmdeposito van EvoVac een krachtig pakket aan een concurrerende prijs aan en kunnen van onze faciliteit binnen zo weinig worden verscheept zoals 16 weken. De Uitgebreide flexibiliteit en de modulaire componentencombinaties maken tot EvoVac een perfecte oplossing voor unieke onderzoekmilieu's of een veelvoudige systeeminstallatie. De volgende informatie detailleert de systeemeigenschappen inbegrepen in elk EvoVac systeem van de reeksbasis.

  • De Universele 26 Flens van de Basis van“ x 19“
  • Het Afzonderlijke ElektroFrame van de Module van de Bijlage en van de Basis
  • Het Wetenschappelijke Cryogene Pompende Pakket 1500 L/s van Austin
  • De Monitor van Cryopump met Digitaal Lezen en Dubbele Setpoints
  • Mechanische Pomp van de Vin van 18 cfm de Roterende met de Eliminator van de Mist
  • rek-Onderstel 4U de Computer van de Controle van PC
  • Het Pro Werkende Systeem van Microsoft Windows XP
  • Vensters Gebaseerde SCADA - PLC de Software van de Interface van de Controle met de Verrichting van het Systeem van de auto-Opeenvolging & van de HandWijze Door Schematisch Gebaseerde Echt - de Interface van de tijd
  • 17“ LCD Monitor met Toetsenbord en Muis
  • De Pneumatische VacuümKlep van de Controle
  • Meten van de volledige waaier het VacuümDruk
  • PLC van Omron en de Elektronische Modules van de Controle
  • Gebied dat wordt Geëvalueerd om Certificatie CSA SPE-1000 Te Ontmoeten

Last Update: 3. February 2012 20:51

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment