埃 EvoVac 串聯薄膜證言系統

下演變在真空薄膜證言技術在這裡! EvoVac 證言系統特別地被設計適應下一代研究應用需要。

EvoVac 的模塊設計將使您配置有這種靈活性更改以及您的研究的系統。 EvoVac 的基本配置包括二個主要部分,一標準 19" 電子控制機架和框架支持證言來源,高真空房間和 PLC 電子。

EvoVac 房間的唯一設計啟用手套盒綜合化相似與我們的 Amod 串聯。 使用一個選項手套盒 EvoVac 系統完全適用與大規模實驗室研究應用高靈敏對大氣條件。

EvoVac 系統能够結合多個薄膜證言來源,使用十個熱量蒸發來源、電子束蒸發或者四個磁控管飛濺目標。

EvoVac 串聯標準系統性能

EvoVac 薄膜證言系統提供一個強大的程序包以一個競爭價格,并且可以從我們的設備被發運僅僅 16 個星期。 廣泛的靈活性和模塊化組件組合做 EvoVac 唯一研究環境或多系統安裝的一個理想的解決方法。 下列信息詳述在每個 EvoVac 串聯基礎系統包括的系統性能。

  • 普遍性 26" x 19" 基礎耳輪緣
  • 單獨電子封入物和基礎模幀
  • 奧斯汀科學 1500 个 L/s 低溫抽的程序包
  • 與數字讀出和雙重 Setpoints 的 Cryopump 監控程序
  • 18 有除霧器的 cfm 轉臺式翻板機械泵
  • 4U 架裝安裝個人計算機控制計算機
  • Microsoft Windows XP 讚成操作系統
  • 微軟視窗 SCADA - PLC 與自動順序 & 手動模式系統操作的控制界面軟件通過一個概要地基於實時界面
  • 17" 與關鍵董事會和鼠標的 LCD 監控程序
  • 氣動力學的真空控制裝設閥門
  • 全方位真空壓衡量
  • Omron PLC 和電子控制模塊
  • 被評估的域滿足 CSA SPE-1000 認證

Last Update: 3. February 2012 20:51

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