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Piezosystem-Serie nanoSXY 400 Stellwerk Großer Geschwindigkeit

Die eben konstruierten Stufen des Serie nanoSXY kombinieren die hohe Genauigkeit und die große Geschwindigkeit der piezo Navigationsanlage mit der speziellen betätigenden Auslegung für langen Arbeitswegantrag. Weiter mehr ist die Höhe der Stufe 20mm nur mit einem freien Mittelplatz von 12.5mm! Äußere Abmessungen sind nur 60x60mm.

Besonders macht die ultra flache Auslegung der Stufe und der leichten Art, die Stufe zu einem x-yabfrage-system zu kombinieren die Anlage offen für eine große Vielfalt von den Anwendungen, die auf dem eindeutiges piezojena bidirektionalen betätigenden nanoX Basieren zu konstruieren, diese Serien, wird konstruiert, hohe Belastungsmassen mit einer Auflösung von 0.6nm zu verschieben.

Die nanoX Auslegung auch garantiert ausgezeichneter Lenkungsgenauigkeit ohne parasitären Antrag und verbessert die Erholungszeit in einer aktiven Art.

Die Stufen können mit einer Rückführungsanlage der hohen Auflösung für Regelung ausgerüstet werden.

Merkmale

  • 400µmrange des Antrages in x-y
  • hohe Zäxte Steifheit für hohe Belastungsfähigkeit
  • ausgezeichnete Lenkungsgenauigkeit
  • 12.5mm freie Abstandöffnung
  • kurze Erholungszeit

Anwendungen

  • hohe Feinverstellung
  • Materialforschung
  • Mikroskopie
  • HalbleiterTestgerät

Last Update: 3. February 2012 16:23

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