Posicionador de la Velocidad del nanoSXY 400 de la Serie de Piezosystem

Los escenarios nuevamente diseñados del nanoSXY de la serie combinan la alta exactitud y la velocidad del sistema de colocación piezoeléctrico con un diseño que se actúa especial para el movimiento largo del viaje. ¡Más la altura del escenario es Más Lejos 20m m solamente con un espacio de centro libre de 12.5m m! Las dimensiones Exteriores son solamente 60x60m m.

Especialmente el diseño ultra plano del escenario y de la manera fácil de combinar el escenario a un sistema xy de la exploración hace el sistema abierto para una amplia variedad de aplicaciones Basadas en el nanoX que se actúa bidireccional del piezojena único para diseñar, estas series se diseña mover altas masas de la carga con una resolución de 0.6nm.

El diseño del nanoX también garantiza exactitud excelente de la dirección sin el movimiento parásito y mejora el tiempo de corrección de una manera activa.

Los escenarios se pueden equipar de una alta resolución retroactúan el sistema para el mando de bucle cerrado.

Características

  • 400µmrange del movimiento en xy
  • alta rigidez de las z-hachas para la alta capacidad de la carga
  • exactitud excelente de la dirección
  • apertura libre de la separación de 12.5m m
  • tiempo de corrección corto

Aplicaciones

  • colocación de la alta precisión
  • investigación de los materiales
  • microscopia
  • equipo de prueba del semiconductor

Last Update: 3. February 2012 16:35

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