श्रृंखला के नए डिजाइन चरणों nanoSXY लंबी यात्रा की गति के लिए विशेष actuating डिजाइन के साथ उच्च सटीकता और piezo पोजीशनिंग सिस्टम के उच्च गति गठबंधन. इसके अलावा मंच की ऊंचाई केवल 12.5mm की एक मुक्त केन्द्र अंतरिक्ष के साथ 20mm है! बाहर आयाम केवल 60x60mm हैं.
विशेष रूप से मंच के अल्ट्रा फ्लैट डिजाइन और आसान तरीका एक xy स्कैनिंग प्रणाली के लिए मंच गठबंधन अद्वितीय piezojena द्वि - दिशात्मक actuating nanoX डिजाइन के आधार पर आवेदनों की एक विस्तृत विविधता के लिए खुला प्रणाली बनाता है, इन श्रृंखला के लिए उच्च ले जाने के लिए डिज़ाइन किया गया है 0.6nm के एक संकल्प के के साथ जनता लोड.
nanoX डिजाइन भी परजीवी गति के बिना उत्कृष्ट मार्गदर्शन सटीकता की गारंटी देता है और एक सक्रिय ढंग से निपटाने के समय में सुधार.
चरण बंद लूप नियंत्रण के लिए एक उच्च संकल्प फीड बैक सिस्टम के साथ सुसज्जित किया जा सकता है.
विशेषताएँ
- गति की xy में 400μmrange
- उच्च लोड क्षमता के लिए उच्च कठोरता z-अक्षों
- उत्कृष्ट मार्गदर्शन सटीकता
- 12.5mm मुक्त निकासी एपर्चर
- कम निपटाने के समय
अनुप्रयोगों
- उच्च सटीक पोजीशनिंग
- अनुसंधान सामग्री
- माइक्रोस्कोपी
- अर्धचालक परीक्षण उपकरण