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Piezosystem 시리즈 nanoSXY 400 고속 Positioner

시리즈 nanoSXY의 새로 디자인한 단계는 긴 여행 움직임을 위한 특별한 움직이는 디자인과 piezo 직책 시스템의 고정확도 그리고 고속을 결합합니다. 추가 단계의 고도는 12.5mm의 자유로운 중심 공간에서만 20mm 더입니다! 외부 차원은 단지 60x60mm입니다.

시스템이 xy 스캐닝 시스템에 단계를 결합하는 단계 및 쉬운 쪽의 특히 매우 편평한 디자인에 의하여가 디자인하기 위하여 유일한 piezojena 양지향성 움직이는 nanoX에 근거를 둔 다양한 응용을 위해 열리는, 이 시리즈 0.6nm의 해결책을 가진 높은 짐 질량을 위하여 디자인됩니다 합니다.

nanoX 디자인은 또한 기생하는 움직임 없이 우수한 지도 정확도를 보장하고 액티브한 방법에 있는 정착(settle) 시간을 향상합니다.

단계는 고해상으로 피드백합니다 닫힌 고리 제어를 위한 시스템을 갖춰질 수 있습니다.

특징

  • xy에 있는 움직임의 400µmrange
  • 높은 짐 기능을 위한 높은 z 도끼 뻣뻣함
  • 우수한 지도 정확도
  • 12.5mm 자유로운 정리 가늠구멍
  • 짧은 정착(settle) 시간

응용

  • 높은 정밀도 두기
  • 물자 연구
  • 현미경 검사법
  • 반도체 시험 장비

Last Update: 3. February 2012 16:28

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