As fases recentemente projetadas do nanoSXY da série combinam a precisão alta e a alta velocidade do sistema de posicionamento piezo com um projecto de impulso especial para o movimento longo do curso. Mais mais a altura da fase é 20mm somente com um espaço center livre de 12.5mm! As dimensões Exteriores são somente 60x60mm.
Especialmente o projecto ultra liso da fase e da forma facil combinar a fase a um sistema xy da exploração faz o sistema aberto para uma grande variedade de aplicações Baseadas no nanoX de impulso bidireccional do piezojena original para projectar, estas séries é projectado mover massas altas da carga com uma definição de 0.6nm.
O projecto do nanoX igualmente garante a precisão excelente da orientação sem movimento parasítico e melhora o tempo de estabelecimento em uma maneira activa.
As fases podem ser equipadas com um sistema de alta resolução da alimentação para trás para o controle de laço fechado.
Características
- 400µmrange do movimento em xy
- rigidez alta dos z-machados para a capacidade alta da carga
- precisão excelente da orientação
- abertura livre do afastamento de 12.5mm
- tempo de estabelecimento curto
Aplicações
- posicionamento da elevada precisão
- pesquisa dos materiais
- microscopia
- equipamento de teste do semicondutor