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Positioner da Alta velocidade do nanoSXY 400 da Série de Piezosystem

As fases recentemente projetadas do nanoSXY da série combinam a precisão alta e a alta velocidade do sistema de posicionamento piezo com um projecto de impulso especial para o movimento longo do curso. Mais mais a altura da fase é 20mm somente com um espaço center livre de 12.5mm! As dimensões Exteriores são somente 60x60mm.

Especialmente o projecto ultra liso da fase e da forma facil combinar a fase a um sistema xy da exploração faz o sistema aberto para uma grande variedade de aplicações Baseadas no nanoX de impulso bidireccional do piezojena original para projectar, estas séries é projectado mover massas altas da carga com uma definição de 0.6nm.

O projecto do nanoX igualmente garante a precisão excelente da orientação sem movimento parasítico e melhora o tempo de estabelecimento em uma maneira activa.

As fases podem ser equipadas com um sistema de alta resolução da alimentação para trás para o controle de laço fechado.

Características

  • 400µmrange do movimento em xy
  • rigidez alta dos z-machados para a capacidade alta da carga
  • precisão excelente da orientação
  • abertura livre do afastamento de 12.5mm
  • tempo de estabelecimento curto

Aplicações

  • posicionamento da elevada precisão
  • pesquisa dos materiais
  • microscopia
  • equipamento de teste do semicondutor

Last Update: 3. February 2012 16:32

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