Positioner da Alta velocidade do nanoSXY 400 da Série de Piezosystem

Positioner da Alta velocidade do nanoSXY 400 da Série de Piezosystem

As fases recentemente projetadas do nanoSXY da série combinam a precisão alta e a alta velocidade do sistema de posicionamento piezo com um projecto de impulso especial para o movimento longo do curso. Mais mais a altura da fase é 20mm somente com um espaço center livre de 12.5mm! As dimensões Exteriores são somente 60x60mm.

Especialmente o projecto ultra liso da fase e da forma facil combinar a fase a um sistema xy da exploração faz o sistema aberto para uma grande variedade de aplicações Baseadas no nanoX de impulso bidireccional do piezojena original para projectar, estas séries é projectado mover massas altas da carga com uma definição de 0.6nm.

O projecto do nanoX igualmente garante a precisão excelente da orientação sem movimento parasítico e melhora o tempo de estabelecimento em uma maneira activa.

As fases podem ser equipadas com um sistema de alta resolução da alimentação para trás para o controle de laço fechado.

Características

  • 400µmrange do movimento em xy
  • rigidez alta dos z-machados para a capacidade alta da carga
  • precisão excelente da orientação
  • abertura livre do afastamento de 12.5mm
  • tempo de estabelecimento curto

Aplicações

  • posicionamento da elevada precisão
  • pesquisa dos materiais
  • microscopia
  • equipamento de teste do semicondutor

Last Update: 3. February 2012 16:32

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