串联 nanoSXY 的最近设计阶段与长的旅行行动的一个特殊开动的设计结合高精确度和高速压力定位系统。 进一步更多这个阶段的高度是仅 20mm 与一个自由中心空间 12.5mm! 外部维数只是 60x60mm。
特别是这个阶段和容易的方法的超平面的设计结合这个阶段到一个 X - Y 的扫描系统使这个系统开放为在唯一 piezojena 双向开动的 nanoX 基础上的各种各样的应用设计，这些串联被设计移动与 0.6nm 的解决方法的高负荷质量。
nanoX 设计也保证非常好的指导准确性，不用寄生行动并且改进结算时间以一个有效的方式。
阶段可以用高分辨率装备反馈闭合电路控制的系统。
功能
- 行动 400µmrange 在 X - Y 的
- 高负荷功能的高 Z轴僵硬
- 非常好的指导准确性
- 12.5mm 自由结算开口
- 短的结算时间
应用