串聯 nanoSXY 的最近設計階段與長的旅行行動的一個特殊開動的設計結合高精確度和高速壓力定位系統。 進一步更多這個階段的高度是仅 20mm 與一個自由中心空間 12.5mm! 外部維數只是 60x60mm。
特別是這個階段和容易的方法的超平面的設計結合這個階段到一個 X - Y 的掃描系統使這個系統開放為在唯一 piezojena 雙向開動的 nanoX 基礎上的各種各樣的應用設計，這些串聯被設計移動與 0.6nm 的解決方法的高負荷質量。
nanoX 設計也保證非常好的指導準確性，不用寄生行動并且改進結算時間以一個有效的方式。
階段可以用高分辨率裝備反饋閉合電路控制的系統。
功能
- 行動 400µmrange 在 X - Y 的
- 高負荷功能的高 Z軸僵硬
- 非常好的指導準確性
- 12.5mm 自由結算開口
- 短的結算時間
應用