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NT-MDT NTEGRA Prima Scannen-Fühler-Mikroskop

NTEGRA Prima ist eine Multifunktionseinheit für die Ausführung der typischsten Aufgaben auf dem Gebiet von Scannen-Fühler-Mikroskopie.

Die Einheit ist zur Ausführung von mehr als 40 Messverfahren fähig, was die körperlichen und chemischen Eigenschaften der Oberfläche mit hoher Präzision und Auflösung analysieren darf. Es ist möglich, Experimente in einer Luft sowie in den Flüssigkeiten und in esteuerter Umgebung durchzuführen. Die Elektronik der neuen Generation liefert Operationen in den Hochfrequenz (bis zu 5MHz) Modi. Dieses Merkmal scheint, für die Arbeit mit Hochfrequenz- FLUGHANDBUCHmodi und -anwendung von Hochfrequenz-cantilevers.* allgemein zu sein

Es gibt einige Scannenbaumuster, die in NTEGRA Prima eingeführt werden: durch die Probe scannen, scannend durch den Fühler und das Doppel-scannen. Wegen dieses ist die Anlage für die Untersuchung von kleinen Proben mit Ultrahochauflösung (Atom-molekulare Stufe) sowie für große Proben und Abtastbereich bis zum µm 100x100x10 ideal. Der eindeutige Modus DualScan TM darf sogar größere Bereiche auf der Oberfläche (µm 200x200 nachforschen für X, O und µm 22 für Z), die zum Beispiel für lebende Zellen und MEMS-Bauteile nützlich sein können.

Einbauten drei Axtregelungsfühler vollziehen die wirkliche Distanzadresse des Scanners nach und kompensieren unvermeidbare Unvollkommenheiten von piezoceramics als Nichtlinearität, Ausdehnung und Hysterese. Die Fühler, die durch NT-MDT verwendet werden, haben die lärmärmste Stufe und so erlauben das Arbeiten mit Regelung auf den sehr kleinen Bereichen (unten zu 10x10 nm). Dieses ist für Durchführungsnanomanipulation und Lithographiemodi besonders wertvoll.

NTEGRA Prima hat eine eingebaute optische Anlage mit 1 µm Auflösung, die Darstellung den Scannenprozeß in der Istzeit erlaubt.

Hauptmerkmale:

  • Regelung mit der lärmärmsten Stufe (kann für Bildflächen von verwendet werden <100 nm="">
  • optisches Mikroskop mit der Auflösung von 1µm
  • durch die Probe (die lärmärmste Stufe, die beste Auflösung auf den kleinen Bereichen) scannen, scannend durch Fühler (maximaler Abtastbereich, arbeitend mit großen Proben)
  • mehr als 40 messende Modi, einschließlich die eindeutige
  • Durchführung Experimente in einer Luft, in den Flüssigkeiten, in esteuerter Umgebung
  • Möglichkeit der Erweiterung von Funktionalität

* Z.B. darf die eindeutige Methode Atom-Kraft Akustischer (AFAM) Mikroskopie die weichen und harten Proben mit durchführenden quantitativen Maßen des Jungen Moduls in jedem scannenden Punkt nachforschen. AFAM darf Kontrast verglichen mit Phasen-Aufnahmemodus für die weichen Nachrichten viel besser erreichen, und ermöglicht die Erlangung vom Kontrast auf den harten Proben, was eine sehr schwere Aufgabe ist, wenn man andere Methoden anwendet.

Last Update: 3. February 2012 16:23

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