Posted in | Sputtering Systems

AJA International ATC-serien sputtering Systems

Den AJA International, Inc. ATC-serien Thin Film deposition systemer er alsidige belægning værktøjer, der kan bygges i en lang række forskellige konfigurationer at tilfredsstille næsten ethvert behov. Disse systemer er bygget op omkring AJA unikke A300-XP (UHV) eller Stiletto Series (HV) magnetron sputtering kilder, som byder på in-situ kilde hoved vippe så præcis og gentagelig con-fokale, direkte, og off-axis deposition. Større systemer er udstyret med en kraftig hydraulisk lift til at løfte kammeret toppen for adgang til systemet - kammeret øverst gynger til begge sider i toppen af ​​Hoist streg. Mellemstore og små ATC-systemer er udstyret med en hængslet top med gas chok hjælpe mekanisme for let kammer adgang.

Substrat indehavere fra 1 "til 10" diameter er tilgængelige med opvarmning til 1000 ° C og / eller substrat køling fra omgivelserne til LN 2 temperaturer. AJA magnetron sputter kilder fra 1 "diameter til 12" diameter plus rektangulære og trekantede versioner kan indarbejdes.

Disse multi-teknik deposition systemer systemer kan også udstyres med elektronstråle fordampning, termisk fordampning, Knudsen celler, PLD, ion-kilder til IBAD, står mål katodeforstøvning kilder (FTS), kontakt maskering systemer, handskebokse, auto-loading kassette systemer, RHEED, Auger analyse og RGA er.

Typiske sputtering System Konfigurationer

  • ATC 1300 (13 "diameter)
  • ATC 1500 (15 "diameter)
  • ATC 1800 (18 "diameter)
  • ATC 2000 (20 "diameter)
  • ATC 2200 (22 "diameter)
  • ATC 2400 (24 "diameter)
  • ATC 2800 (28 "diameter)

Det maksimale antal sputter kilder vil afhænge af substrat størrelse, konfiguration og magnetron sputter kilde størrelse. For eksempel kan ATC 1800 være forsynet med (5) 2 "magnetroner med in situ-tilt. AJA tilbyder 1", 1,5 ", 2", 3 ", 4" diameter rektangulære og trekantede kilder på ATC serien. Kontakt fabrikken for optimale konfiguration.

Last Update: 4. October 2011 04:52

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment