Posted in | Sputtering Systems

AJA International ATC-serien sputtering Systems

Den AJA International, Inc. ATC-serien Thin Film deposition systemer er alsidige belægning værktøjer, der kan bygges i en lang række forskellige konfigurationer at tilfredsstille næsten ethvert behov. Disse systemer er bygget op omkring AJA unikke A300-XP (UHV) eller Stiletto Series (HV) magnetron sputtering kilder, som byder på in-situ kilde hoved vippe så præcis og gentagelig con-fokale, direkte, og off-axis deposition. Større systemer er udstyret med en kraftig hydraulisk lift til at løfte kammeret toppen for adgang til systemet - kammeret øverst gynger til begge sider i toppen af ​​Hoist streg. Mellemstore og små ATC-systemer er udstyret med en hængslet top med gas chok hjælpe mekanisme for let kammer adgang.

Substrat indehavere fra 1 "til 10" diameter er tilgængelige med opvarmning til 1000 ° C og / eller substrat køling fra omgivelserne til LN 2 temperaturer. AJA magnetron sputter kilder fra 1 "diameter til 12" diameter plus rektangulære og trekantede versioner kan indarbejdes.

Disse multi-teknik deposition systemer systemer kan også udstyres med elektronstråle fordampning, termisk fordampning, Knudsen celler, PLD, ion-kilder til IBAD, står mål katodeforstøvning kilder (FTS), kontakt maskering systemer, handskebokse, auto-loading kassette systemer, RHEED, Auger analyse og RGA er.

Typiske sputtering System Konfigurationer

  • ATC 1300 (13 "diameter)
  • ATC 1500 (15 "diameter)
  • ATC 1800 (18 "diameter)
  • ATC 2000 (20 "diameter)
  • ATC 2200 (22 "diameter)
  • ATC 2400 (24 "diameter)
  • ATC 2800 (28 "diameter)

Det maksimale antal sputter kilder vil afhænge af substrat størrelse, konfiguration og magnetron sputter kilde størrelse. For eksempel kan ATC 1800 være forsynet med (5) 2 "magnetroner med in situ-tilt. AJA tilbyder 1", 1,5 ", 2", 3 ", 4" diameter rektangulære og trekantede kilder på ATC serien. Kontakt fabrikken for optimale konfiguration.

Last Update: 4. October 2011 04:52

Comments
  1. 小林 李 小林 李 People's Republic of China says:

    I am think purchase the AJA equipment parts,Where can I buy this accessories?

The opinions expressed here are the views of the writer and do not necessarily reflect the views and opinions of AZoNano.com.
Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment