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Posted in | Sputtering Systems

AJA Internationale ATC-Serien-SpritzenAnlagen

ATC-Serien-Dünnfilm-Absetzungs-Anlagen sind AJAInternational, Inc. vielseitige Beschichtungshilfsmittel, die in einer großen Vielfalt von Konfigurationen aufgebaut werden können, um fast jeder möglicher Anforderung gerecht zu werden. Diese Anlagen werden um A300-XP AJAS eindeutige (UHV) oder der Stilett-Serie (HOCHSPG) Magnetronspritzenquellen, die das in-situquellhauptkippen kennzeichnen, genaues und wiederholbares Betrug-fokales erlaubend, direkt, und Ausschwerpunkt Absetzung aufgebaut. Großsysteme werden mit einer hydraulischen Hochleistungshebevorrichtung befestigt, um die Kammeroberseite für Anlagenzugriff - das Kammeroberseitenschwingen zu jeder Seite an der Spitze des Vektors der Hebevorrichtung anzuheben. Mittlere und kleine ATC-Anlagen kennzeichnen eine eingehängte Oberseite mit Gasschock-Vorlagenvorrichtung für einfachen Kammerzugriff.

Substratflächenhalterungen von 1" bis 10" Durchmesser sind mit Heizung für 1000°C und/oder der Substratfläche, die von umgebendem zu Temperaturen LN 2 abkühlt erhältlich. AJA-Magnetron spritzen Quellen von 1" Durchmesser bis 12" Durchmesser plus rechteckiges und dreieckige Versionen können enthalten werden.

Diese Multitechnik Absetzungs-Anlagenanlagen können mit Elektronenstrahlverdampfung, thermische Verdampfung, Knudsen-Zellen, PLD, die Ionenquellen auch befestigt werden für IBAD und Zielspritzenquellen, (FTS) abdeckende Anlagen des Kontaktes, Handschuhschachteln, Selbst-laden Kassettenanlagen, RHEED, Stangenbohreranalyse und RGA gegenüberstellen.

Typische SpritzenAnlagenkonfigurationen

  • ATC 1300 (13" Durchmesser)
  • ATC 1500 (15" Durchmesser)
  • ATC 1800 (18" Durchmesser)
  • ATC 2000 (20" Durchmesser)
  • ATC 2200 (22" Durchmesser)
  • ATC 2400 (24" Durchmesser)
  • ATC 2800 (28" Durchmesser)

Die Höchstzahl von spritzen Quellen abhängt von der Substratflächengröße, Konfiguration und Magnetron spritzen Quellgröße. Zum Beispiel kann das ATC 1800 mit (5) 2" befestigt werden Magnetrons mit in-situneigung. AJA bietet 1", 1,5", 2", 3", 4" rechteckige und dreieckige Quellen des Durchmessers auf der ATC-Serie an. Konsultieren Sie die Fabrik für optimale Konfiguration.

Last Update: 3. February 2012 16:23

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