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Sistemas Internacionales del Chisporroteo de la Serie del ATC de AJA

Los Sistemas de la Deposición de la Película Fina de la Serie del ATC de AJA International, Inc. son las herramientas versátiles de la capa que se pueden construir en una amplia variedad de configuraciones para satisfacer casi cualquier requisito. Estos sistemas se construyen alrededor de las fuentes únicas del chisporroteo del magnetrón del A300-XP de AJA (UHV) o de la Serie del Estilete (ALTO VOLTAJE) que ofrecen la inclinación principal de la fuente "in-situ" permitiendo la deposición confocal, directa, y de fuera del eje exacta y repetible. Sistemas Más Grandes se ajustan con un montacargas hidráulico resistente para levantar la parte superior para el acceso de sistema - los voltajes de entrada alternativos del compartimiento de la parte superior del compartimiento a cualquier cara en la cima del recorrido del montacargas. Los sistemas Medianos y pequeños del ATC ofrecen una parte superior con bisagras con el mecanismo de la ayuda de la descarga eléctrica del gas para el acceso fácil del compartimiento.

Los casquillos del Substrato a partir de la 1" a 10" diámetro están disponibles con la calefacción para 1000°C y/o el substrato que enfría de ambiente a las temperaturas de LN 2. El magnetrón de AJA chisporrotea fuentes a partir de la 1" diámetro a 12" diámetro más rectangular y las versiones triangulares pueden ser incorporadas.

Estos sistemas de los sistemas de la deposición de la multi-técnica se pueden también ajustar con la evaporación del haz electrónico, evaporación térmica, células de Knudsen, PLD, fuentes de ión para IBAD, haciendo frente a fuentes del chisporroteo de la meta (FTS), a sistemas del contacto, a las cajas de guantes, a los sistemas del magazín del auto-cargamento, a RHEED, a análisis de la Barrena, y a RGA de enmascarado.

Configuraciones de Sistema Típicas del Chisporroteo

  • ATC 1300 (13" diámetro)
  • ATC 1500 (15" diámetro)
  • ATC 1800 (18" diámetro)
  • ATC 2000 (20" diámetro)
  • ATC 2200 (22" diámetro)
  • ATC 2400 (24" diámetro)
  • ATC 2800 (28" diámetro)

El número máximo de chisporrotea fuentes dependerá de la talla del substrato, configuración y el magnetrón chisporrotea talla de la fuente. Por ejemplo, el ATC 1800 puede ser ajustado con (5) 2" los magnetrones con la inclinación "in-situ". AJA ofrece 1", 1,5", 2", 3", 4" las fuentes rectangulares y triangulares del diámetro en la serie del ATC. Consulte la fábrica para la configuración óptima.

Last Update: 3. February 2012 16:35

Comments
  1. 小林 李 小林 李 People's Republic of China says:

    I am think purchase the AJA equipment parts,Where can I buy this accessories?

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