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Suite Internationale d'ATC d'AJA Pulvérisant des Systèmes

Les Systèmes de Dépôt de Film Mince de Suite d'ATC d'AJA International, Inc. sont des outils versatiles de couche qui peuvent être établis dans une grande variété de configurations pour répondre à presque n'importe quelle exigence. Ces systèmes sont établis autour des seuls A300-XP d'AJA (UHV) ou des sources Stylets de pulvérisation de magnétron de la Suite (HT) qui comportent l'inclinaison principale de source in-situ permettant le dépôt escroquerie-focal, direct, et en dehors de son axe précis et reproductible. De Plus Grands systèmes sont équipés d'un élévateur hydraulique lourd pour soulever le haut de cavité pour l'accès de système - les oscillations de haut de cavité à l'un ou l'autre de côté en haut de la rappe de l'élévateur. Les systèmes Moyens et petits d'ATC comportent un haut articulé avec le mécanisme d'aide de choc de gaz pour l'accès facile de cavité.

Les supports de Substrat de 1" à 10" diamètre sont disponibles avec le chauffage à 1000°C et/ou le substrat se refroidissant d'ambiant aux températures de LN 2. Le magnétron d'AJA pulvérisent des sources de 1" diamètre à 12" diamètre plus rectangulaire et des versions triangulaires peuvent être comportées.

Ces systèmes de systèmes de dépôt de multi-technique peuvent être également équipés de l'évaporation de faisceau d'électrons, évaporation thermique, les cellules de Knudsen, PLD, sources d'ions pour IBAD, faisant face à des sources de pulvérisation d'objectif (FTS), à des systèmes de contact, à des boîtes à gants, à des systèmes de magasin d'automatique-charge, à RHEED, à analyse de Foreuse, et à des RGA de masquage.

Configurations Système Particulières de Pulvérisation

  • ATC 1300 (13" diamètre)
  • ATC 1500 (15" diamètre)
  • ATC 1800 (18" diamètre)
  • ATC 2000 (20" diamètre)
  • ATC 2200 (22" diamètre)
  • ATC 2400 (24" diamètre)
  • ATC 2800 (28" diamètre)

Le nombre maximum de pulvérisent des sources dépendra de la taille de substrat, configuration et le magnétron pulvérisent la taille de source. Par exemple, l'ATC 1800 peut être équipé (5) de 2" des magnétrons avec l'inclinaison in-situ. AJA offre 1", 1,5", 2", 3", 4" des sources rectangulaires et triangulaires de diamètre sur la suite d'ATC. Consultez l'usine pour la configuration optima.

Last Update: 3. February 2012 16:22

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