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Sistemi Internazionali di Polverizzazione di Serie di ATC di AJA

I Sistemi del Deposito della Pellicola Sottile di Serie di ATC di AJA International, Inc. sono strumenti versatili del rivestimento che possono essere costruiti in un'ampia varietà di configurazioni per rispondere a quasi tutta l'esigenza. Questi sistemi sono sviluppati intorno sorgenti uniche della polverizzazione del magnetron al A300-XP di AJA (UHV) o di Serie dello Stiletto (ALTA TENSIONE) che caratterizzano la inclinazione capa di sorgente in situ permettendo raggiro-focale preciso e ripetibile, diretto ed il deposito di fuori asse. I Più Grandi sistemi misura con una gru idraulica resistente per sollevare la cima per accesso di sistema - i basculaggi asse verticali della camera della cima della camera a qualsiasi lato alla cima del colpo della gru. I sistemi Medi e piccoli di ATC caratterizzano una cima munita di cardini con il meccanismo di aiuto di scossa del gas per accesso facile della camera.

I supporti del Substrato da 1" a 10" diametro sono disponibili con il riscaldamento a 1000°C e/o il substrato che si raffredda da ambientale alle temperature di LN 2. Il magnetron di AJA polverizza le sorgenti da 1" diametro a 12" diametro più rettangolare e le versioni triangolari possono essere comprese.

Questi sistemi dei sistemi del deposito di multi-tecnica possono anche essere misura con evaporazione del fascio di elettroni, l'evaporazione termica, le celle di Knudsen, PLD, sorgenti di ione per IBAD, affrontanti le sorgenti della polverizzazione dell'obiettivo (FTS), i sistemi del contatto, le scatole per guanti, i sistemi del caricatore 35mm di automatico-caricamento, RHEED, l'analisi della Coclea e RGA di mascheramento.

Configurazioni di Sistema Tipiche di Polverizzazione

  • ATC 1300 (13" diametro)
  • ATC 1500 (15" diametro)
  • ATC 1800 (18" diametro)
  • ATC 2000 (20" diametro)
  • ATC 2200 (22" diametro)
  • ATC 2400 (24" diametro)
  • ATC 2800 (28" diametro)

Il numero massimo di polverizza le sorgenti dipenderà dalla dimensione del substrato, configurazione ed il magnetron polverizza la dimensione di sorgente. Per esempio, il ATC 1800 può essere misura con (5) 2" magnetron con inclinazione in situ. AJA offre 1", 1,5", 2", 3", 4" sorgenti rettangolari e triangolari del diametro sulla serie di ATC. Consulti la fabbrica per la configurazione ottimale.

Last Update: 3. February 2012 16:25

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