Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Sputtering Systems

De Internationale ATC AJA Sputterende Systemen van de Reeks

Internationale AJA, ATC van Inc. de Systemen van het Deposito van de Dunne Film van de Reeks is veelzijdige deklaaghulpmiddelen die in een grote verscheidenheid van configuraties kunnen worden gebouwd om bijna aan om het even welk vereiste te voldoen. Deze systemen worden opgebouwd rond het magnetron unieke van a300-XP van AJA (UHV) of van de Reeks van de Stiletto (HV) het sputteren bronnen die bron hoofd het overhellen toestaand nauwkeurig en herhaalbaar con-focal, direct, en off-axis deposito in situ kenmerken. De Grotere systemen worden gepast met een op zwaar werk berekend hydraulisch hijstoestel om de kamerbovenkant voor systeemtoegang - de kamer hoogste schommeling tot één van beide kant bij de bovenkant van de slag van het hijstoestel op te heffen. De Middelgrote en kleine ATC systemeneigenschap een scharnierende bovenkant met gasschok staat mechanisme voor gemakkelijke kamertoegang bij.

De houders van het Substraat van 1“ aan“ diameter 10 zijn beschikbaar met het verwarmen aan 1000°C en/of substraat het koelen van omringend aan temperaturen LN 2. Het magnetron AJA sputtert bronnen van 1“ diameter aan“ diameter 12 plus rechthoekige en driehoekige versies kan worden opgenomen.

Deze de systemensystemen van het multi-techniekdeposito kunnen ook met elektronenstraalverdamping, thermische verdamping, Knudsen cellen, PLD worden gepast, ionenbronnen die voor IBAD, doel het sputteren bronnen, (FTS) contact maskerende systemen, handschoendozen, auto-laadt cassettesystemen, RHEED, de analyse van de Avegaar, en RGA onder ogen zien.

De Typische het Sputteren Configuraties van het Systeem

  • ATC 1300 (“ diameter 13)
  • ATC 1500 (“ diameter 15)
  • ATC 1800 (“ diameter 18)
  • ATC 2000 (“ diameter 20)
  • ATC 2200 (“ diameter 22)
  • ATC 2400 (“ diameter 24)
  • ATC 2800 (“ diameter 28)

Het maximumaantal van sputtert bronnen zal afhangen van de substraatgrootte, sputteren de configuratie en het magnetron brongrootte. Bijvoorbeeld, kan ATC 1800 met (5) 2“ magnetronen met schuine stand in situ worden gepast. AJA biedt 1“, 1.5“, 2“, 3“, 4“ diameter rechthoekige en driehoekige bronnen over de ATC reeks aan. Raadpleeg de fabriek voor optimale configuratie.

Last Update: 3. February 2012 16:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment