Posted in | Sputtering Systems

Системы Sputtering Серии ATC AJA Международные

Системы Низложения Тонкого Фильма Серии ATC AJA Международн, Inc. разносторонние инструменты покрытия которые можно построить в большом разнообразии конфигураций для того чтобы удовлетворять почти любое требование. Эти системы построены вокруг источники sputtering магнетрона A300-XP AJA уникально (UHV) или Серии Шпилек (HV) которые отличают в-situ опрокидывать источника головной позволяющ точная и repeatable жулик-фокусной, сразу, и низложение -оси. Более Большие системы приспособлены с сверхмощный гидровлическим подъемом для того чтобы поднять верхнюю часть для доступа системы - качания камеры верхней части камеры к любой стороне вверху ход подъема. Средств и малые системы ATC отличают прикрепленной на петлях верхней частью с механизмом голевой передачи удара газа для легкого доступа камеры.

Держатели Субстрата от 1" до 10" диаметр доступны при топление к 1000°C и/или субстрат охлаждая от окружающего к температурам LN 2. Магнетрон AJA sputter источники от 1" диаметр до 12" диаметр плюс прямоугольное и триангулярные версии можно включать.

Эти системы систем низложения multi-метода можно также приспосабливать с испарением луча электронов, термальным испарением, клетками Knudsen, PLD, источниками иона для IBAD, смотря на источники sputtering цели (FTS), системы контакта маскируя, бардачки, системы кассеты автоматическ-нагрузки, RHEED, анализ Сверла, и RGA.

Типичные Системные Конфигурации Sputtering

  • ATC 1300 (13" диаметр)
  • ATC 1500 (15" диаметр)
  • ATC 1800 (18" диаметр)
  • ATC 2000 (20" диаметр)
  • ATC 2200 (22" диаметр)
  • ATC 2400 (24" диаметр)
  • ATC 2800 (28" диаметр)

Максимальное число sputter источники завещает быть в зависимости от размер субстрата, конфигурация и магнетрон sputter размер источника. Например, ATC 1800 можно приспосабливать с (5) 2" магнетроны с в-situ наклоном. AJA предлагает 1", 1,5", 2", 3", 4" источники диаметра прямоугольные и триангулярные на серии ATC. Советуйте С фабрикой для оптимальной конфигурации.

Last Update: 3. February 2012 16:33

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment