Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Sputtering Systems

System för Serie för AJA-LandskampATC Fräsande

Filmar Tunna AJA Landskamp, Inc. ATC-Serier AvlagringSystem är mångsidigt täcka bearbetar som kan byggas i en bred variation av konfigurationer för att tillfredsställa nästan något krav. Dessa system byggs runt om AJAS unika A300-XP (UHV) eller källor för magnetronen för StilettSerien (HV) fräsande, som presenterar i-situ källa som, head vippande på låta preciserar, och repeatable lura-fokal-, riktar, och av-axeln avlagring. Större system är inpassade med ett tungt hydrauliskt hissar för att lyfta kammaren som är bästa för system, tar fram - de bästa gungorna för kammaren till antingen sida av hoist'sen slår upptill. Medel- och litet ATC-systemsärdrag som ett försett med gångjärn bästa med gasar chockar hjälpmekanismen för lätt kammare tar fram.

Substratehållare från 1" till 10" diametern är tillgängliga med uppvärmning till 1000°C och/eller substraten som kyler från omgivande till temperaturer för LN 2. Källor för AJA-magnetronfräsande från 1" diametern till 12" rektangulära för diameter positiva och triangulära versioner kan inkorporeras.

Dessa mång--tekniken avlagringsystem som system kan vara också inpassade med elektronen, strålar avdunstning, termisk avdunstning, Knudsen celler, PLD, jonkällor för IBAD som vänder mot uppsätta som mål fräsande källor (FTS), kontakten som maskerar system, handske boxas och auto-att ladda kassettsystem, RHEED, Avfallsspiralanalys och RGA.

Typiska Fräsande SystemKonfigurationer

  • ATC 1300 (13" diametern)
  • ATC 1500 (15" diametern)
  • ATC 1800 (18" diametern)
  • ATC 2000 (20" diametern)
  • ATC 2200 (22" diametern)
  • ATC 2400 (24" diametern)
  • ATC 2800 (28" diametern)

Maximat numrerar av ska fräsandekällor beror på substraten storleksanpassar, konfigurationen, och magnetronfräsandekällan storleksanpassar. Till exempel kan ATCEN 1800 vara inpassad med (5) 2" magnetrons med i-situ lutande. AJA erbjuder 1", 1,5", 2", 3", 4" rektangulära och triangulära källor för diametern på ATC-serien. Konsultera fabriken för optimalkonfiguration.

Last Update: 3. February 2012 16:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment