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AJA 国际 ATC 串联飞溅系统

AJA International, Inc. ATC 串联薄膜证言系统是在各种各样的配置可以被打制满足几乎所有要求的多才多艺的涂层工具。 这些系统在以原地来源顶头掀动为特色允许准确和可重复共焦,直接的 AJA 的唯一 A300-XP (UHV) 附近被建立或短剑串联 (HV) 磁控管飞溅来源和轴证言。 大型系统符合一台耐用水力升降机增强系统访问的房间顶层 - 对任一个端的房间顶层摇摆在升降机的中风顶部。 媒体和小的 ATC 系统以与气体冲击协助结构的一个取决于的顶层为特色容易的房间存取的。

从 1" 的基体持有人到 10" 直径对冷却从四周的热化对 1000°C 并且/或者基体是可用的到 LN 2 温度。 AJA 磁控管飞溅从 1" 的来源直径到 12" 直径加上长方形,并且三角版本可以合并。

这些多技术证言系统系统可以也符合电子束蒸发,热量蒸发, Knudsen 细胞, PLD, IBAD 的离子源,面对目标飞溅来源 (FTS),联络屏蔽的系统,手套盒,自动加载的卡式磁带系统, RHEED、木钻分析和 RGA。

典型的飞溅系统构成

  • ATC 1300 (13" 直径)
  • ATC 1500 (15" 直径)
  • ATC 1800 (18" 直径)
  • ATC 2000年 (20" 直径)
  • ATC 2200 (22" 直径)
  • ATC 2400 (24" 直径)
  • ATC 2800 (28" 直径)

最大数字飞溅来源将取决于基体范围,配置,并且磁控管飞溅来源范围。 例如, ATC 1800 可以符合 (5) 2" 有原地掀动的磁控管。 AJA 提供 1", 1.5", 2", 3", 4" 在 ATC 串联的直径长方形和三角来源。 咨询最佳配置的工厂。

Last Update: 3. February 2012 16:17

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