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AJA 國際 ATC 串聯飛濺系統

AJA International, Inc. ATC 串聯薄膜證言系統是在各種各樣的配置可以被打制滿足幾乎所有要求的多才多藝的塗層工具。 這些系統在以原地來源頂頭掀動為特色允許準確和可重複共焦,直接的 AJA 的唯一 A300-XP (UHV) 附近被建立或短劍串聯 (HV) 磁控管飛濺來源和軸證言。 大型系統符合一臺耐用水力昇降機增強系統訪問的房間頂層 - 對任一個端的房間頂層搖擺在昇降機的中風頂部。 媒體和小的 ATC 系統以與氣體衝擊協助結構的一個取決於的頂層為特色容易的房間存取的。

從 1" 的基體持有人到 10" 直徑對冷卻從四周的熱化對 1000°C 並且/或者基體是可用的到 LN 2 溫度。 AJA 磁控管飛濺從 1" 的來源直徑到 12" 直徑加上長方形,并且三角版本可以合併。

這些多技術證言系統系統可以也符合電子束蒸發,熱量蒸發, Knudsen 細胞, PLD, IBAD 的離子源,面對目標飛濺來源 (FTS),聯絡屏蔽的系統,手套盒,自動加載的卡式磁帶系統, RHEED、木鑽分析和 RGA。

典型的飛濺系統構成

  • ATC 1300 (13" 直徑)
  • ATC 1500 (15" 直徑)
  • ATC 1800 (18" 直徑)
  • ATC 2000年 (20" 直徑)
  • ATC 2200 (22" 直徑)
  • ATC 2400 (24" 直徑)
  • ATC 2800 (28" 直徑)

最大數字飛濺來源將取決於基體範圍,配置,并且磁控管飛濺來源範圍。 例如, ATC 1800 可以符合 (5) 2" 有原地掀動的磁控管。 AJA 提供 1", 1.5", 2", 3", 4" 在 ATC 串聯的直徑長方形和三角來源。 咨詢最佳配置的工廠。

Last Update: 3. February 2012 16:18

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