MicroXAM - KLA Tencor からの 100 無接触光学型彫機

KLA-Tencor の開発の一連の 3D 表面の型彫機は工学およびリサーチの必要性に焦点を合わせる完全な解決を提供します。 私達の 3D 表面の型彫機の製品はフル装備の表面の型彫機の製品の配達、新技術の統合、および改善されたパフォーマンスによって私達の顧客のいろいろな条件に一致させるように設計されています。

  • 250 の ìm の閉じたループの垂直範囲
  • PSI (段階) および VSI のモード (縦)
  • 段階 (任意選択 100mm x 100mm モーターを備えられた段階) を置く 100mm x 100mm の手動サンプル
  • ソリッドステート光源
  • 画像の任意選択ステッチおよび自動アラインメント
  • 互換性がある Windows XP およびヴィスタ
  • MicroXAM-100 3D の表面の型彫機は白色光を結合することおよびライトの標準波長に内部的にそして永久に参照される精密で、非破壊的な表面の測定のためのインターフェロメトリーを段階移すことによって私達の表面の側面図を描くポートフォリオを補足します。 表面の型彫機システムは精密、高解像、無接触提供します
  • 3D プロフィールはの粗雑面滑らかになり。 直観的な Windows のユーザー・インターフェースは簡単で、再生可能なプログラム運行を可能にします。

MicroXAM -100 の 3D 表面の型彫機は 100 の X 100 ミクロンからの使用される対物レンズに 2.0 の X 2.0 ミリメートルに視野を測定できます (依存した)。 すぐに MicroXAM 100 の光学干渉計は 250 ミクロン測定し、 (または Z ステッチの 10 までの mm) の z スキャン範囲が付いているナノメーターのレベルで正確に表面の 3D 地形を。 新しい 3D 画像のステッチの機能と拡張視野を作り出すために、複数の画像は一緒にステッチすることができます。

アプリケーション:

  • 表面の質
  • 精密ステップ高さ
  • 表面形式
  • 薄膜の圧力
  • 生物的
  • MEMS
  • 3D イメージ投射
  • 物質的な性格描写

この製品は以前 Ambios Xi-100 と - 表面の Profilometer および干渉計でした

Last Update: 16. July 2013 07:48

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