MicroXAM - 100 从 KLA Tencor 的没有接触的光学仿形铣床

3D 表面仿形铣床 KLA-Tencor 发展系列提供着重工程和研究团体的需要的一个完全解决方法。 我们的 3D 表面仿形铣床产品被设计通过全面貌特征的表面仿形铣床产品新技术的发运,综合化和被改进的性能符合我们的客户的各种各样的需求。

  • 250 ìm 闭合电路垂直范围
  • PSI (阶段) 和 VSI 模式 (垂直)
  • 确定阶段 (选项 100mm x 100mm 的 100mm x 100mm 手工范例动力化的阶段)
  • 固体光源
  • 选项缝和图象的自动对准线
  • 兼容的 Windows XP 和的景色
  • MicroXAM-100 3D 表面仿形铣床通过结合白光和移相位干涉测量法补充我们的表面描出的投资组合在内部地和永久引用对光一个标准波长的准确,非破坏性的表面评定的。 表面仿形铣床系统提供准确,高分辨率,没有接触
  • 3D 配置文件使光滑和毛面。 直观 Windows 用户接口允许简单和再现程序定位。

MicroXAM -100 3D 表面仿形铣床可能评定视野从 100 X 100 微米的到 2.0 X 2.0 毫米 (从属于使用的物端透镜)。 快速 MicroXAM 100 光学干涉仪和准确地评定表面 3D 地势在与 250 微米 (或与 Z 缝的 10 mm 的) z 扫描范围的毫微米级别。 以新的 3D 图象缝的功能,多重图象可以一起被缝导致延长的视野。

应用:

  • 表面纹理
  • 精确度步骤高度
  • 表面表单
  • 薄膜重点
  • 生物
  • MEMS
  • 3D 想象
  • 物质描述特性

此产品以前是 Ambios Xi-100 加上 - 表面轮廓测定器和干涉仪

Last Update: 16. July 2013 07:45

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