3D 表面仿形銑床 KLA-Tencor 發展系列提供著重工程和研究團體的需要的一個完全解決方法。 我們的 3D 表面仿形銑床產品被設計通過全面貌特徵的表面仿形銑床產品新技術的發運，綜合化和被改進的性能符合我們的客戶的各種各樣的需求。
- 250 ìm 閉合電路垂直範圍
- PSI (階段) 和 VSI 模式 (垂直)
- 確定階段 (選項 100mm x 100mm 的 100mm x 100mm 手工範例動力化的階段)
- 固體光源
- 選項縫和圖像的自動對準線
- 兼容的 Windows XP 和的景色
- MicroXAM-100 3D 表面仿形銑床通過結合白光和移相位干涉測量法補充我們的表面描出的投資組合在內部地和永久引用對光一個標準波長的準確，非破壞性的表面評定的。 表面仿形銑床系統提供準確，高分辨率，沒有接觸
- 3D 配置文件使光滑和毛面。 直觀 Windows 用戶接口允許簡單和再現程序定位。
MicroXAM -100 3D 表面仿形銑床可能評定視野從 100 X 100 微米的到 2.0 X 2.0 毫米 (從屬於使用的物端透鏡)。 快速 MicroXAM 100 光學干涉儀和準確地評定表面 3D 地勢在與 250 微米 (或與 Z 縫的 10 mm 的) z 掃描範圍的毫微米級別。 以新的 3D 圖像縫的功能，多重圖像可以一起被縫導致延長的視野。
應用：
- 表面紋理
- 精確度步驟高度
- 表面表單
- 薄膜重點
- 生物
- MEMS
- 3D 想像
- 物質描述特性
此產品以前是 Ambios Xi-100 加上 - 表面輪廓測定器和干涉儀