Χαϊδελβέργη Όργανα DWL 2000 Σύστημα Λιθογραφία Laser

Το DWL 2000 σύστημα λιθογραφία λέιζερ είναι ένα γρήγορο και ευέλικτο, γεννήτρια υψηλής μοτίβο ανάλυση για την παραγωγή μασκών και άμεση γραφή. Με μια περιοχή γράψει μέχρι 200 x 200 mm 2 το σύστημα είναι η ιδανική λύση για την άμεση σχηματομόρφωσης των μασκών και γκοφρέτες σε MEMS, BioMEMS, Micro Optics, ASICs, Micro ρευστών, Αισθητήρες, CGHs, και όλες τις άλλες εφαρμογές που απαιτούν μικροδομές.

Εκτός από την υψηλής ευκρίνειας 2D σχέδια, την κατάσταση της τεχνολογίας του συστήματος μπορεί επίσης να δημιουργήσει πολύπλοκα 3D δομές σε χοντρά photoresist με ένα μόνο πέρασμα. Αυτή η λειτουργία επιτρέπει τη γρήγορη και εύκολη κατασκευή custom made μικρο-οπτική με διάθλασης ή περιθλαστικών στοιχεία. Η διαδικασία σχεδιασμού των δομών αυτών υποστηρίζεται από το λογισμικό μετατροπής ειδικά σχεδιασμένο για αυτές τις εφαρμογές 3D. Ο αέρας που φέρουν βάση και γραμμική μηχανοκίνητη σύστημα στάδιο βελτιώνει περαιτέρω την ποιότητα των 3D δομών με την εξάλειψη τυχόν μηχανικά προκαλούνται δονήσεις.

Το DWL 2000 μπορεί να χρησιμοποιήσει διαφορετικά λέιζερ, καθιστώντας δυνατή για να εκθέσουν όλα σχεδόν τα φωτοευαίσθητα υλικά. Ένα σταθερό οπτικό setup, ένα αξιόπιστο σύστημα αυτόματης εστίασης και ένα σύστημα υψηλής ακρίβειας στάδιο εγγυώνται την ποιότητα και την ακρίβεια τη θέση του εκτίθενται δομές. Ένα υψηλό συμβολόμετρο ανάλυση παρακολουθεί τη θέση της σκηνής ανά πάσα στιγμή. Για να εξασφαλιστεί η σταθερότητα του συστήματος, που τοποθετείται σε θάλαμο κλίμα, παρέχοντας μια σταθερή θερμοκρασία. Πρόσθετο λογισμικό χρησιμοποιείται για να αντισταθμίσει τυχόν εναπομείναντα διακύμανση των μηχανικών κατασκευών ή την περιβαλλοντικών παραμέτρων.

Last Update: 18. October 2011 19:14

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment