Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Гейдельберг инструменты DWL 2000 Лазерные системы литографии

DWL 2000 лазерная литография система быстрый и гибкий, высокий образец генератора разрешение для изготовления маски и прямой записи. С написать площадью до 200 х 200 мм 2 Система является идеальным решением для быстрого структурирования масок и вафли в MEMS, BioMEMS, Micro оптики, ASIC, компания Micro Fluidics, датчики, CGHs, и все другие приложения, которые требуют микроструктур.

В дополнение к высоким разрешением 2D-моделей, современные технологии Система может также создавать сложные 3D-структуры в толстых фоторезиста с один проход. Эта функция позволяет быстро и легко изготовление на заказ микро-оптика с преломления или дифракционных элементов. Процесс проектирования для этих структур поддерживается преобразование программного обеспечения, специально предназначенных для этих 3D-приложениях. Воздушных подшипников основе и линейный двигатель система, управляемая этапе дополнительно улучшает качество 3D-структуры, устраняя любую механически вибрации.

DWL 2000 может использовать различные лазеры, что позволяет выявить практически все фоторезистов. Фиксированная оптическая установка, надежная система автофокуса и системы высокой стадии точностью гарантировать качество и точность позиционирования облученных структур. Высокое разрешение интерферометра следит за положением этапе во все времена. Для обеспечения стабильности системы, он находится в климатической камере, что обеспечивает постоянную температуру. Дополнительное программное обеспечение используется, чтобы компенсировать все оставшиеся изменения механических конструкций и параметров окружающей среды.

Last Update: 10. October 2011 11:53

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment