Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Heidelberg Instrumenterar Systemet 2000 för DWL-Laser-Lithography

Systemet 2000 för DWL-laser-lithography är en fasta och böjligt, mönstrar kickupplösning generatorn för maskerar danande och riktar handstil. Med ett skrivaområde av upp till 200 x 200 som en mm2 systemet är göra perfektlösningen för, fasta att mönstra av maskerar och rån i MEMS, BioMEMS, MikroOptik, ASICs, MikroFluidics, Avkännare, CGHs och alla andra applikationer som kräver microstructures.

Förutom kick mönstrar upplösning 2D, statlig - av - - konstteknologi av systemet kan också skapa komplex 3D strukturerar i tjock photoresist med en singel passerar. Detta särdrag möjliggör snabb och lätt fabricering av specialtillverkad mikro-optik med refractive eller diffractive beståndsdelar. Designen som är processaa för dessa, strukturerar stöttas av omvandlingsprogramvara som planläggs specifikt för dessa applikationer 3D. Lufta-uthärda arrangerar baserat och linjärt motoriskt drivande systemet förbättrar vidare det kvalitets- av 3Den strukturerar, genom att avlägsna några mekaniskt framkallade vibrationer.

DWLEN 2000 kan använda olika laser, danande det möjligheten till blottan nästan alla photoresists. Ett fixat optiskt ställer in, fokuserar en pålitlig automatisk systemet, och en kickprecision arrangerar systemgaranti det kvalitets- och placerar exakthet av det utsatt strukturerar. En kickupplösningsinterferometer övervakar placera av tiderna för arrangera alls. Att se till stabiliteten av systemet förläggas den i en klimatkammare som ger en konstant temperatur. Extra programvara är van vid kompenserar för någon resterande variation i det mekaniskt strukturerar eller de miljö- parametrarna.

Last Update: 3. February 2012 13:40

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment