海得爾堡儀器 DWL 2000 激光石版印刷系統

DWL 2000 激光石版印刷系統是做的屏蔽的一個快速和靈活,高分辨率模式生成程序和直接業務。 書寫面積的 200 x 200 mm2 這個系統是快速仿造的理想的解決方法屏蔽和薄酥餅在 MEMS、 BioMEMS,微光學, ASICs、微流體力學、傳感器、 CGHs 和要求微結構的其他應用。

除高分辨率第 2 個模式之外,這個系統的科技目前進步水平技術在厚實的光致抗蝕劑可能也創建複雜 3D 結構用單向。 此功能啟用定製的微型光學的快速和容易的製造與折射或繞射的要素的。 為這些 3D 應用特別地設計的轉換軟件支持這些結構的設計過程。 空氣軸承基於和線性電動機驅動的階段系統經過消滅所有機械上導致的振動進一步改進 3D 結構的質量。

DWL 2000 可能使用不同的激光,使成為可能顯示接近所有光致抗蝕劑。 一個固定的光學設置、一個可靠的自動重點系統和一個高精度階段系統保證這個質量并且確定顯示的結構的準確性。 高分辨率干涉儀一直監控這個階段的位置。 要保證這個系統的穩定性,它在氣候房間安置,提供恆溫。 另外的軟件用於補嘗在機械結構或環境參數上的剩餘的變化。

Last Update: 23. January 2012 02:52

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